培养目标：主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面的人才。

• 开设课程：微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。